成功中标！涿溪实验室孵化企业清软微视国产 SiC 检测设备签约高校研究院

近日，清软微视（杭州）科技有限公司（以下简称”清软微视“）自主研发的 SiC 衬底和外延缺陷检测设备Omega 9880成功中标国内某知名 SiC 研究院相关设备招标项目，并已成功签订采购合同。

该研究院主要聚焦 SiC 功率半导体材料缺陷表征、器件设计、器件制造工艺、封装工艺开发等主要方向，重点突破 SiC 材料与器件关键共性技术及先进制造工艺。

清软微视作为清华大学知识产权转化的高新技术企业，布局了 SiC 从衬底、外延、芯片到器件模组的全产业链检测装备，打通了 SiC 全制程段缺陷数据，为 SiC 缺陷的转化、关联和器件的失效分析奠定了数据基础。结合清软微视与该研究院各自的科研优势，双方将在SiC外延和芯片的缺陷表征和分析方面展开深度合作。

Omega 9880 外观图

Omega 9880 硬件上集成了清软微视自主研发的“广目成像系统”，包含明场（含 DIC）、暗场、PL（同时采集两个通道） 等成像方式，能对 SiC 衬底和外延的表面缺陷和晶格缺陷进行高效率、高精度的无损检测；软件上，Omega 9880 支持缺陷统计、缺陷追踪、图层叠加、良率预估等功能，兼容主流厂商 Mapping 数据交换格式，可合并不同功能、不同品牌检测设备的 Mapping 结果，帮助用户对单次多片或多批次检测结果进行比对分析。

Omega 9880 成像能力

Omega 9880 可同时兼容4、6、8吋 SiC 衬底和外延片，与国外机台对标结果显示，Omega 9880 检测精度提升5倍，算法准确率提升 5 个百分点，检测效率提升50%，PL 信号更强。Omega 9880 可主要应用于 SiC 衬底厂出货终检、SiC 外延厂的来料检、外延片的出货终检以及SiC 芯片厂的来料检，目前已经在国内多个头部客户完成验证。

孵化企业介绍：

清软微视（杭州）科技有限公司总部位于杭州，是杭州市政府引进的、清华大学入股的高新技术企业，致力于化合物半导体视觉领域量检测软件与装备研发。